EJA系列壓力/差壓變送器
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
EJA系列壓力/差壓變送器是日本橫河電機(jī)株式會(huì)社九十年代中期推出的產(chǎn)品,采用真正的數(shù)字化傳感器—單晶硅諧振式傳感器,開(kāi)創(chuàng)了變送器的新時(shí)代,產(chǎn)品具有更高的精度、穩(wěn)定性、可靠性,自推向市場(chǎng),深受各界好評(píng)。為迎接現(xiàn)場(chǎng)總線時(shí)代的來(lái)臨,我們已推出經(jīng)基金會(huì)測(cè)試認(rèn)證的符合FF 標(biāo)準(zhǔn)的現(xiàn)場(chǎng)總線變送器。
二、先進(jìn)的工作原理
圖1 硅諧振梁的結(jié)構(gòu)
采用微電子加工技術(shù)(MEMS)在一個(gè)單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作 兩個(gè)形狀、尺寸、材質(zhì)**的H形狀的諧振梁,諧振梁在自激振蕩 回路中作高頻振蕩(如圖1)。 單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時(shí),將產(chǎn)生形變,導(dǎo)致中心諧振梁 因壓縮力而頻率減小,邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加(如圖2)。
兩頻率之差信號(hào)直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,然后 (1)經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號(hào),通訊時(shí)疊加Brain或Hart數(shù)字信號(hào); (2)直接輸出符合現(xiàn)場(chǎng)總線(Fieldbus Foundation TM)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號(hào)。
圖1 硅諧振梁的結(jié)構(gòu)
三、優(yōu)異的性能
靜壓影響忽略不計(jì)
當(dāng)加有靜壓(工作壓力)時(shí),兩形狀、尺寸、材質(zhì)**的諧振梁形變相同, 故頻率變化也*,故偏差自動(dòng)清除(公式和圖類似溫度影響)。
單向過(guò)壓特性優(yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用*的波紋加工技術(shù),使外部壓力增大到某一數(shù)值時(shí), 接液膜片能與本體*接觸,硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增 加,從而達(dá)到對(duì)傳感器的保護(hù)作用。(圖4)、(圖5)所示為EJA過(guò)壓特性。
圖5 對(duì)于過(guò)壓的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
圖6 長(zhǎng)期穩(wěn)定性
四、安裝靈活,使用方便
安裝靈活
可無(wú)需支架,直接安裝(如圖7); 常規(guī)使用,無(wú)需三閥組(如圖8)。
圖7 無(wú)需支架直接安裝 | 圖8 無(wú)需三閥組安裝 |
組態(tài)靈活簡(jiǎn)便
可通過(guò)計(jì)算機(jī)或手操器對(duì)變送器組態(tài),也可通過(guò)變送器上的量程設(shè)置按鈕和調(diào)零按鈕,進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整(如圖9)。
圖9 BT2000與EJA
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